Gli analizzatori di gas residui (RGA) forniscono una finestra unica sull’ambiente del vuoto per il monitoraggio della contaminazione, il rilevamento delle perdite e l’analisi delle specie di interesse all’interno della camera a vuoto, ad esempio il vapore acqueo. Gli analizzatori di gas residui di Hiden sono spettrometri di massa quadrupolari configurati in un’ampia gamma di prodotti per affrontare applicazioni nella lavorazione del vuoto, nella scienza e nella tecnologia.
Gli analizzatori di gas residui di Hiden sono dotati di un software intuitivo e multilivello che offre un funzionamento semplice e sicuro per un utente inesperto, incorporando al tempo stesso un’ampia gamma di funzioni utili e avanzate per gli esperti del vuoto.
I gas residui che vengono analizzati normalmente includono:
- Idrogeno, misurato a massa 2, è di interesse specifico nei sistemi UHV dove il degassamento può essere il fattore limitante per il raggiungimento del vuoto finale.
- Elio, misurato a massa 4, è utilizzato come gas di ricerca per il rilevamento delle perdite. Gli analizzatori di gas residui di Hiden includono una modalità di rilevamento perdite dedicata, per l’analisi a risposta rapida dell’elio.
- Vapore acqueo, misurato alla massa 18, è il residuo più difficile da pompare al livello UHV senza fare un bake-out o pompare la camera a vuoto per tempi molto lunghi.
- Azoto e ossigeno, misurati ai numeri di massa 28 e 32, con picchi aggiuntivi misurati per conferma ai numeri di massa 14 e 16. La misurazione del segnale significativo per i “picchi d’aria” è spesso la prima indicazione di una perdita dalla camera.
- Idrocarburi, che vengono analizzati a diverse masse attraverso una scansione di massa e in genere possono essere identificati ai numeri di massa 69 e 71, 55 e 57, 41 e 43 e 15 per alcani e alcheni. L’ampia scansione di massa dell’analizzatore di gas residui con elevata sensibilità consente all’utente di ottenere informazioni dettagliate in merito il livello di contaminazione della camera.
- Composti organici volatili, misurati a masse specifiche per specie, inclusa la massa 78 per il benzene, 91 per il toluene, 31 per l’etanolo e 45 per l’alcol isopropilico.
Gli analizzatori di gas residui di Hiden analizzano le specie di cui sopra con una visualizzazione dei dati in tempo reale per fornire all’utente del vuoto informazioni immediate e aggiornate sullo stato di salute e sulle tendenze della pressione parziale dei principali residui del vuoto. I dati vengono utilizzati per il monitoraggio di routine delle camere da vuoto, per il rilevamento delle perdite e per l’analisi
dei processi sotto vuoto e per studi di ricerca avanzati.
Per vedere i sistemi utilizzati in questo campo, visitare il collegamento seguente: