La serie HEX di sistemi di deposizione di film sottile offre una gamma versatile di opzioni di deposizione per le vostre applicazioni di ricerca. Per iniziare, è possibile acquistare il modello base e aggiornarlo in seguito con nuovi componenti, come sorgenti o sistemi di controllo. Questi aggiornamenti sono modulari e semplici da installare, riducendo i tempi di inattività del sistema e i costi di installazione.
La serie HEX comprende il sistema HEX da banco e i sistemi HEX-L più grandi.
Il modello HEX da banco è dotato di una pompa da 80 l/s che consente vuoti di base fino a 8×10-7 mbar e consente dimensioni del campione fino a 100 mm. Il sistema è inoltre dotato di un supporto multi-campione che può ospitare contemporaneamente diversi campioni più piccoli. Il sistema offre molte opzioni di aggiornamento, inclusa una pompa da 300 l/s che raggiunge un vuoto base di 4×10-7 mbar.
Gli utenti possono anche optare per una camera HEX-L più grande con spazio per campioni di dimensioni fino a 150 mm o più campioni di dimensioni inferiori.

Progettazione modulare per una rapida riconfigurazione

Il sistema HEX è costituito da una camera ad alto vuoto con telaio in alluminio a sei lati, leggera ma sufficientemente rigida per la maggior parte delle applicazioni di PVD. La struttura esagonale sostiene sei pannelli modulari, tra cui:

  • Pannelli ciechi
  • Finestra di osservazione
  • Sorgente
  • Sistema di controllo PLD, inclusi mass flow controller e controlli dello spessore
  • Microbilancia al quarzo

Il design utilizza raccordi standardizzati, tra cui connettori rapidi Hamlet per i collegamenti del gas e dell’acqua e dadi ad alette per il porta-campioni e i collegamenti dei componenti. Questa standardizzazione semplifica la sostituzione dei pannelli e l’adattamento del sistema a un’applicazione particolare. Il design modulare rende inoltre la manutenzione e la riconfigurazione più rapide ed efficienti.

Pensato per ricerca & sviluppo

Gli strumenti della serie HEX sono ideali per la ricerca e lo sviluppo grazie alla loro natura modulare. Tutti gli elementi essenziali sono accessibili, consentendo di testare vari componenti e di esplorare approfonditamente i processi coinvolti in diverse tecniche di deposizione di film sottile, tra cui:

  • Preparazione dei campioni per analisi di superfici
  • Sputtering
  • Evaporazione termica
  • Deposizione di vapori organici

I metodi supportati dal modello base includono:

  • Processi di lift-off di metalli e fotoresist
  • Preparazione di campioni EM
  • Ricerca e sviluppo di nuovi coating
  • Ottimizzazione dello sputtering magnetron

Se il tuo caso d’uso richiede funzionalità aggiuntive, il sistema HEX contiene molti altri moduli che espandono la portata del sistema per la maggior parte dei processi di deposizione di film sottile.