TES | Evaporatore termico

Le sorgenti termiche per boat Korvus TES consentono una rapida rimozione delle sorgenti per consentire il rifornimento del materiale evaporante. Boat e filamenti possono essere sostituiti facilmente e rapidamente.
Le sorgenti TES sono disponibili come sorgente singola per unità flangiata. Opzionalmente è possibile montare termocoppie per monitorare la temperatura dell’imbarcazione. Ogni sorgente può essere dotata di otturatore manuale o automatico.
È possibile ospitare più sorgenti in un unico sistema. Le sorgenti possono essere utilizzate anche insieme ad altre tecniche come lo sputtering, la deposizione di fasci elettronici e sorgenti a bassa temperatura.

Evaporazione termica

Le sorgenti di evaporazione termica sono generalmente utilizzate per processi di deposizione di film sottili di base. Il materiale evaporante viene posto in una boat conduttiva o in alternativa in un crogiolo tenuto in una bobina resistiva. La boat o la bobina viene riscaldata facendo passare attraverso di essa un’elevata corrente elettrica. Quando la temperatura della boat aumenta, il materiale inizia a evaporare. La temperatura, e quindi la velocità di evaporazione del materiale, è controllata dalla quantità di corrente applicata.
Un vantaggio importante dell’evaporazione termica è che non è richiesto alcun gas di processo, quindi il processo può essere eseguito in condizioni di vuoto molto elevato con conseguente incorporazione di pochissime impurità nelle pellicole depositate.

Specifiche tecniche