La serie HEX di sistemi per PVD: flessibilità e modularità complete
La serie HEX di sistemi di deposizione di film sottili offre una gamma versatile di opzioni di deposizione per le tue applicazioni di ricerca e implementazione. Per iniziare, puoi acquistare il modello base e passare a componenti di livello superiore in base alle tue esigenze, se necessario. Questi aggiornamenti sono modulari e semplici da installare, il che riduce i tempi di inattività del sistema e i costi di installazione.
La serie HEX include il sistema da banco HEX e i sistemi più grandi HEX-L e HEX-XL.
Tutti i sistemi sono dotati di pompe turbomolecolari che consentono il vuoto nell’intervallo da 10-6 a 10-7 mbar. Il sistema da banco HEX consente dimensioni del campione fino a 100 mm, ma è anche dotato di un supporto multi-campione che può ospitare contemporaneamente diversi campioni più piccoli. Il sistema contiene molte opzioni di aggiornamento, tra cui una pompa da 300 l/s che può raggiungere una pressione di vuoto di base in tempi ridotti.
Gli utenti possono anche optare per camere HEX-L o HEX-XL più grandi con portacampioni fino a 150 mm o 300 mm rispettivamente (o un numero maggiroe di campioni più piccoli).