ORCA | Evaporatore di organici

La fonte di evaporazione a bassa temperatura ORCA utilizza il raffreddamento attivo del crogiolo per garantire che il processo di riscaldamento sia bilanciato da un forte processo di raffreddamento opposto che si traduce in un’eccellente stabilità e controllo della temperatura.
Il crogiolo è costruito con materiale ad alta conduttività termica, garantendo l’assenza di punti caldi che potrebbero distorcere il tasso di evaporazione. Facoltativamente, possono essere impiegati rivestimenti di allumina o grafite. Il crogiolo (completo di rivestimento se presente) è facilmente rimovibile/sostituibile senza la necessità di alcun attrezzo, anche se spesso ciò non è necessario poiché l’accesso alla sorgente per riempire il crogiolo è rapido e semplice.
La termocoppia di tipo K è inserita nel corpo del crogiolo, fornendo letture molto più accurate rispetto alle tipiche soluzioni a contatto tattile. La sorgente è fornita con un’unità di potenza accoppiata ad un controller PID sintonizzato per il funzionamento a bassa temperatura.
La sorgente può essere utilizzata insieme a sorgenti di sputtering, sorgenti di fasci elettronici, sorgenti termiche e altre. La diafonia termica è ridotta al minimo grazie al cappuccio schermante raffreddato. L’ORCA è inoltre perfettamente abbinato al nostro stadio campione a gradiente di temperatura, consentendo un controllo preciso della temperatura del substrato.

Tecnica di deposizione

L’evaporazione di materiali a bassa temperatura (50-600°C) richiede sorgenti specializzate appositamente progettate per funzionare in questo intervallo. Le sorgenti di evaporazione convenzionali sono costruite per funzionare nel modo più efficiente a >1000°C, il che richiede che le perdite termiche conduttive siano mantenute al minimo. Ciò ha la conseguenza che il meccanismo che consente un controllo PID accurato si basa quasi interamente sulle perdite radiative. A temperature più basse, le perdite radiative vengono drasticamente ridotte e i circuiti di controllo nelle celle convenzionali soffrono di superamenti e lenti cambiamenti di temperatura.

Specifiche tecniche